千葉県千葉市のアローズエンジニアリング株式会社は半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売など行っています

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アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511代表
FAX.043-233-7268

e-Mail:
info@arrows.co.jp
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1.半導体装置周辺機器の設計,
  制作、改造、修理、販売
2.半導体製造装置移設・付帯工事
3.RF GEN/RF MACHの修理・改善
4.搬送ロボットの修理・改善
5.PCBボードの修理・改善
6.中古装置・ユニットの販売
7.工業用薬品の販売
8.瞬時電圧低下保護装置の販売
9.各種検査装置・顕微鏡の販売
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クリーンルーム用途

クリーンルーム用途
 
  自社のクリーンルームなのでスピーディーな対応を実現できます。

 

設備内容

設備内容
 
クリーンルーム2室(クラス1000、0,5μm以上)
室寸法   天井高 3000mm  面積160m
温度条件  夏、冬   23℃±2℃
湿度条件  夏、冬  50%±10%
室内圧力  10〜20Pa

ヘリウムリークディテクター 2台
電  源  200V3相 1フロア MAX125A
露点計  1台
冷却水  循環装置(271/min、500cal) 
 

クリーンルーム図面

クリーンルーム図面
 
   
<<アローズエンジニアリング株式会社>> 〒264-0025 千葉県千葉市若葉区都賀1丁目4番地2号 TEL:043-234-5511 FAX:043-233-7268