クリーンルーム用途 自社のクリーンルームなのでスピーディーな対応を実現できます。 設備内容クリーンルーム2室（クラス1000、0,5μm以上）室寸法 天井高 3000mm 面積160㎡温度条件 夏、冬 23℃±2℃湿度条件 夏、冬 50%±10%室内圧力 10～20Paヘリウムリークディテクター 2台電 源 200V3相 1フロア MAX125A露点計 １台冷却水 循環装置（271/min、500cal） クリーンルーム図面
