千葉県千葉市のアローズエンジニアリング株式会社は半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売など行っています

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アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511代表
FAX.043-233-7268

e-Mail:
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1.半導体装置周辺機器の設計,
  制作、改造、修理、販売
2.半導体製造装置移設・付帯工事
3.RF GEN/RF MACHの修理・改善
4.搬送ロボットの修理・改善
5.PCBボードの修理・改善
6.中古装置・ユニットの販売
7.工業用薬品の販売
8.瞬時電圧低下保護装置の販売
9.各種検査装置・顕微鏡の販売
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 □Gas Economizer Unit 本体・付属品 一式
 

標準付属品 一式

標準付属品 一式
 
 ○ Gas Economizer Unit本体    1式
 ○ 4” TFT Color Touch Panel+Box+取付アーム  1式
 ○ MFC Signal Cable Assy(S-CA11,17,18B/E)              6本
 ○ LL Door Closed Sensor Signal Cable(S-CA21B&C) 1本
 ○ Main Power Cable (PW-CA1)    1本
 ○ Touch Panel Power Cable (PW-CA2)   1本
 ○ Touch Panel Signal Cable (S-CA1)   1本 
 ○ 設置マニュアル  一冊
 ○ 取扱説明書(本書)  一冊
 

概  要

概  要
 

Gas Economizerの目的(1)
  Concept One Dielectric装置のDeposition Sequence中でのWafer搬送時は、A2 SiH4
  GasはDeposition時と同じ流量設定にてDivert Lineを通してPump側へ流されています。
  Gas Economizer Unitは、Wafer搬送中にPump側へ流されるA2 SiH4 Gasを止める事により、
  Deposition Sequence時のA2 SiH4 Gasを削減する事を目的として設計されております。
1.Wafer搬送中のA2 SiH4 Gasを止める事により、配管内の生成物の削減が可能と考えられます。
2.Wafer搬送中のA2 SiH4 Gasを止める事により、Dry Pumpへの負荷を軽減しメンテナンス周期の
  改善が可能と考えられます。
3.Wafer搬送中のA2 SiH4 Gasを止める事により、除害装置への負荷を軽減しメンテナンス周期の
  改善が可能と考えられます。
Gas Economizerの目的(2)
  Concept One Dielectric装置のDeposition Sequence中でのWafer搬送時は、B6 NH3 Gasは
  Deposition時と同じ流量設定にてリアクターチャンバー内へ流されています。
1.Gas Economizer Unitは、Wafer搬送中にリアクターチャンバー側へ流されるB6 NH3 Gasの流量を
  調整する事により、Deposition Sequence時のB6 NH3 Gasを削減する事を目的として設計されて
  おります。
2.A2,B1,B2,B5,B6 Gas Economizer Unitの目的では、A2、B6を例に挙げましたが、全てのGasに対して
  同じ機能を備えておりますので、フレキシブルな対応が出来るように設計されております。

 

特  徴

特  徴
 

Gas Economizer Unitの設計においては、装置側に対する複雑な改造(Board等の改造)を必要としないように、全ての制御を本Unitへ集約し簡単な接続のみで動作するように考えられております。Gas Economizer Unitの取付け改造時間の短縮が可能なため、改造時の装置Down Timeを最小限に抑える事が可能となります。装置の複雑な改造を必要としないため、Gas Economizer Unitを取付け改造前の装置状態へ戻す事が可能となります。
Gas Economizer Unitには、Economizer Modeを選択出来るようDisable/Enable選択機能を持たせており、使用/未使用の変更が簡単に行う事が可能となっております。装置において問題が発生した場合、Gas Economizer Unitの切り離しが容易に出来るため、トラブル内容の切り分けが簡単に出来るように考えられております。メンテナンス等でGasをManual操作にて抜く場合に、Gas Economizer UnitをDisableにする事により、Divert Lineを使用する事が可能となります。

   
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