千葉県千葉市のアローズエンジニアリング株式会社は半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売など行っています

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アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511代表
FAX.043-233-7268

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1.半導体装置周辺機器の設計,
  制作、改造、修理、販売
2.半導体製造装置移設・付帯工事
3.RF GEN/RF MACHの修理・改善
4.搬送ロボットの修理・改善
5.PCBボードの修理・改善
6.中古装置・ユニットの販売
7.工業用薬品の販売
8.瞬時電圧低下保護装置の販売
9.各種検査装置・顕微鏡の販売
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Particle Protector概要

Particle Protector概要
 
Particle Protectorは従来問題点を勘案したもので,その目的はChamber内の真空度が特定できるように設置された真空ゲージの内部に流入される空気中の副産物を濾過させる為の集塵フィルタ‐を設置することで,真空ゲージへは清浄空気だけを流入することを目的としている。
また,Particle Protectorは真空ゲージを誤差無く長時間使用できるようにして交換周期を延長することによって,真空ゲージ交換で生じる工程中断時間を最小限にして,製品生産性が低下される問題点を最小化することが期待できる。
 

Baratron Manometer構造

Baratron Manometer構造
 
 

Baratron Drift原因及びProcess Contaminat

Baratron Drift原因及びProcess Contaminat
 
 

Particle Protector Dimension

Particle Protector Dimension
 

    * Assembly Description
    1. 1/2_VCR Fitting (Male) : Gauge Connection
    2. 1/2_VCR Fitting (Female) : Valve Connection
    3. Insulator (Silicon)
 

S社 Pressure Manometer & PPF断面 Power写真

S社 Pressure Manometer & PPF断面 Power写真
 
   
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