千葉県千葉市のアローズエンジニアリング株式会社は半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売など行っています

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アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511代表
FAX.043-233-7268

e-Mail:
info@arrows.co.jp
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1.半導体装置周辺機器の設計,
  制作、改造、修理、販売
2.半導体製造装置移設・付帯工事
3.RF GEN/RF MACHの修理・改善
4.搬送ロボットの修理・改善
5.PCBボードの修理・改善
6.中古装置・ユニットの販売
7.工業用薬品の販売
8.瞬時電圧低下保護装置の販売
9.各種検査装置・顕微鏡の販売
──────────────────

360901
 
 

SMC SLIT Valve Overhaul

SMC SLIT Valve Overhaul
 
修理品を出される場合は、こちらの修理依頼書を添付してください。
 
 PDF形式のファイルをご覧いただくには、アドビ システムズ社から無償提供されている
(別ウインドウが開きます)Adobe® ReaderTM プラグインが必要です。
 

SMC SLIT Valve 純正修理認定書

SMC SLIT Valve 純正修理認定書
 
 

概  要

概  要
 
 ○SMC社殿との契約により、オリジナルの修理内容とテスト内容に基づき修理させて頂きます。
 (修理代行業務となります。)
 ○SMC社つくば開発センターでの修理トレーニング課程を修了しております。
 
 

修理内容

修理内容
 
 1.本修理は、SMC社と同じ修理内容、ジグ及び工具を使用し対応させて頂きます。
 2.現在、SLIT VALVEはRev0からリリースされておりますが、修理の際は、最新のRevのPartsに交換致します。
    改良されたPartsを使用することにより、SLIT VALVEのLife timeを延ばす効果を期待することが出来ます。
 3.修理につきましては、事前御見積書を提出させて頂きます。SLIT VALVE受入時の状態により、工数が異なりますので、
    修理完了後に正式な価格の御連絡させて頂きます。
 4.SMC社 SLIT VALVEは、Novellus Systems社製 成膜装置“Concept2”の中期より搭載されています。
    中期以前に納入された装置は、VAT社製を搭載しているケースもあります。

           200mm装置搭載MODEL                                            300mm装置搭載MODEL
 

修理プラン・修理内容

修理プラン・修理内容
 
【標準修理】
  交換部品     :シールキット, ベローズASSYキット, ガスケット《共通》
  本体解毒洗浄 :受入時は、自動的に解毒洗浄費が発生致します。
  作業費
【標準修理範囲外】
  概    要         :標準修理 +αでPartsの交換が必要な場合、以下のPartsが標準修理に追加されます。
  交換部品       :インサート, ボンネット, ゲート(Oリング), シリンダASSY
          オートスイッチ(センサー), カウンター

 
 

SLITバルブの修理フロー

SLITバルブの修理フロー
 
 納期は原則、SLIT VALVE受入後、約3〜4weeksとなります。
 納期の例外として、通常交換Parts以外のPartsが必要になりました場合、別途御連絡させて頂きます。
 プロセスガス影響下の部品のため、修理及び調査の目的で受入させて頂きましたら、原則として、
 必ず解毒洗浄をさせて頂きます。
 

対 象 機 種 (型 番)

対 象 機 種 (型 番)
 

300mm P/N      
    SMC P/N  :  XGT312-47336-2C1-X316
    SMC P/N  :  XGT312-47336-2C1-X317
    SMC P/N  :  XGT312-47336-2C1-X318
    SMC P/N  :  XGT312-47336-2C1-X319

200mm P/N
    SMC P/N  :  XGT221-32222-1C1-X175
    SMC P/N  :  XGT221-46236-2C1-X176
    SMC P/N  :  XGT221-46236-1C1-X177 
    SMC P/N  :  XGT200-30-2A-X177C

200mm用 スリットバルブ標準・特殊品
    SMC P/N  :  XGT-0101
    SMC P/N  :  XGT-0402
    SMC P/N  :  XGT221-32222-1C1-X175
    SMC P/N  :  XXGT221-46236-2C1-X176

   
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