千葉県千葉市のアローズエンジニアリング株式会社は半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売など行っています

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アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511代表
FAX.043-233-7268

e-Mail:
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1.半導体装置周辺機器の設計,
  制作、改造、修理、販売
2.半導体製造装置移設・付帯工事
3.RF GEN/RF MACHの修理・改善
4.搬送ロボットの修理・改善
5.PCBボードの修理・改善
6.中古装置・ユニットの販売
7.工業用薬品の販売
8.瞬時電圧低下保護装置の販売
9.各種検査装置・顕微鏡の販売
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DEIONIZER TANK 再生

DEIONIZER TANK 再生
 
 
□ 半導体装置に使用されるDEIONIZER TANKの再生を開始しいたしました。
 

DEIONIZER TANK 再生工程

DEIONIZER TANK 再生工程
 
 ①お客様より預かったDI Tankを受け入れ検査後、問題が無ければパーツの解体Tank内の古Resinを除去しTank内部及び
    古Resinの付着したパーツの洗浄、乾燥。
 ②Tank内の乾燥が確認できたら、解体したパーツを組み上げTankに復旧後ResinCharge治具に接続。
 ③治具を使用しResinを注入させる。(弊社で選定したResinを約8Kg投入)
 ④Resin注入終了後、治具から取り外し、Leak Checkへ。
 ⑤Leak TestはN2を使用し、加圧1分後の値をOutlet Pressure Gauge初期入力(5kg/㎠)と対比し確認。
 ⑥Leak Test終了後、DI Filter Cleaning及び梱包。
 

DEIONIZER TANK 検査成績書

DEIONIZER TANK 検査成績書
 
 

DEIONIZER TANK 仕様書

DEIONIZER TANK 仕様書
 
   
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