Ozone Generator Repair & Overhaul
当社では、独自のプログラムよるユニットのオーバーホルをしており、装置の弱点である部分等を改善し、今まで修理の納期が長期かかっていたものを2week程で完了し納品しております。
MKS AX8200A
MKS AX8403
MKS AX8407
MKS AX8560
Ozone Generator 修理対応機種
Process | MKS Model | WaferSize | Maker |
CVD | AX8200A | 150mm | AMT |
AX8200 | 200mm | ||
AX8403A | 200mm | ||
AX8406 | 200mm | ||
AX8406A | 200mm | ||
AX8407A | 300mm |
Process | MKS Model | WaferSize | Maker |
Diffusion | AX8407 | 300mm | HiKe |
AX8407HC | 300mm | HiKe | |
AX9407SIL | 300mm | HiKe | |
AX8560-5100 | 300mm | KE | |
AX8560-3020 | 300mm | IPS | |
Ozone Generator AX8407構成図
Ozone Generator AX8407パーツ不具合率
AX8407 主要故障パーツ
パーツの問題点
1. Power Assy Board
AC Power Input Value Spec 以下
2. Oscillator Board
AC Power Output Value Spec 以下
3. 7 Cells Stack
長年使用したCell放電官内部性質変化とCooling Channel
内部有/無機物Clogging現象による性能低下
4. API Monitor
UV Rampと Sensorを長年使用したことによる信頼性低下
検査と修理内容
①. Hi-pote test ----------------- : アイソレーションチェック（電気リークチェック）
②. Water leak check ------------- : 本体、継手部分の水漏れチェック
③. MFC flow rate check ---------- : MFCの流量チェック
④. MFC display check ------------ : MFCの流量表示チェック
⑤. Alarm test ------------------- : インターロックチェック
⑥. Ozone concentration double check : ジェネレータ内部のモニターチェック
⑦. Operation test by software ------ : RS-232Cの通信チェック
⑧. Line voltage test -------------- : 低圧・高圧ラインの電圧チェック
②. Water leak check ------------- : 本体、継手部分の水漏れチェック
③. MFC flow rate check ---------- : MFCの流量チェック
④. MFC display check ------------ : MFCの流量表示チェック
⑤. Alarm test ------------------- : インターロックチェック
⑥. Ozone concentration double check : ジェネレータ内部のモニターチェック
⑦. Operation test by software ------ : RS-232Cの通信チェック
⑧. Line voltage test -------------- : 低圧・高圧ラインの電圧チェック