千葉県千葉市のアローズエンジニアリング株式会社は半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売など行っています

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アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511代表
FAX.043-233-7268

e-Mail:
info@arrows.co.jp
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1.半導体装置周辺機器の設計,
  制作、改造、修理、販売
2.半導体製造装置移設・付帯工事
3.RF GEN/RF MACHの修理・改善
4.搬送ロボットの修理・改善
5.PCBボードの修理・改善
6.中古装置・ユニットの販売
7.工業用薬品の販売
8.瞬時電圧低下保護装置の販売
9.各種検査装置・顕微鏡の販売
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Ozone Generator Repair & Overhaul

Ozone Generator Repair & Overhaul
 
当社では、独自のプログラムよるユニットのオーバーホルをしており、装置の弱点である部分等を改善し、今まで修理の納期が長期かかっていたものを2week程で完了し納品しております。
 

Ozone Generator 修理対応機種

Ozone Generator 修理対応機種
 
 
 

Ozone Generator AX8407構成図

Ozone Generator AX8407構成図
 

 

Ozone Generator AX8407パーツ不具合率

Ozone Generator AX8407パーツ不具合率
 
 

AX8407 主要故障パーツ

AX8407 主要故障パーツ
 


パーツの問題点

1. Power Assy Board
  AC Power Input Value Spec 以下
2. Oscillator Board
  AC Power Output Value Spec 以下
3. 7 Cells Stack
 長年使用したCell放電官内部性質変化とCooling Channel
  内部有/無機物Clogging現象による性能低下
4. API Monitor
 UV Rampと Sensorを長年使用したことによる信頼性低下
 

検査と修理内容

検査と修理内容
 
①. Hi-pote test ----------------- :  アイソレーションチェック(電気リークチェック)
②. Water leak check ------------- :  本体、継手部分の水漏れチェック
③. MFC flow rate check ---------- :  MFCの流量チェック
④. MFC display check ------------ :  MFCの流量表示チェック
⑤. Alarm test -------------------  :  インターロックチェック
⑥. Ozone concentration double check : ジェネレータ内部のモニターチェック
⑦. Operation test by software ------ :  RS-232Cの通信チェック
⑧. Line voltage test -------------- : 低圧・高圧ラインの電圧チェック
  
   
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