千葉県千葉市のアローズエンジニアリング株式会社は半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売など行っています

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アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511代表
FAX.043-233-7268

e-Mail:
info@arrows.co.jp
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1.半導体装置周辺機器の設計,
  制作、改造、修理、販売
2.半導体製造装置移設・付帯工事
3.RF GEN/RF MACHの修理・改善
4.搬送ロボットの修理・改善
5.PCBボードの修理・改善
6.中古装置・ユニットの販売
7.工業用薬品の販売
8.瞬時電圧低下保護装置の販売
9.各種検査装置・顕微鏡の販売
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Injection valve Repair & Overhaul

Injection valve Repair & Overhaul
 
 

Injection valve Final check

Injection valve Final check
 
    1. sensor side disassembly
    2. Clean with solvent
    3. Air purge all  and Diaphragm side
    4. Assembly
    5. adjusting Diaphragm side control valve
    6. check heater power line
    7. check temperature high limit
    8. check temperature low limit
    9. Check thermal couple
   10. check(Diaphragm side) flow on/off
   11. Leak test in side         <10 -7  atm cc/s
   12. Leak test out side        <10 -7  atm cc/s
   
<<アローズエンジニアリング株式会社>> 〒264-0025 千葉県千葉市若葉区都賀1丁目4番地2号 TEL:043-234-5511 FAX:043-233-7268