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概  要

Varian PVDシリーズに搭載ユニットの修理実績1000台以上

Varian PVD 3180, 3190, 3280, 3290, M2000, XM-90, XM-8, m2i, MB2-830などの装置に搭載されている各種ユニットを長年にわたり修理を行っております。
ノベラスから修理業務の移管を受けてから約13年間、約1000台以上の修理実績を持っております。
メーカーサポートが終了している、FLUKE社製コントローラ 1722A, 1720A, 1780A, 415B, 6160Bにおいては日本国内では弊社だけが修理を行っております。
半導体産業、大手企業、宇宙観測所、大学への数多くの実績がありこれからもお客様のニーズに応えられるよう新たな創出に挑んでおります。

修理対応ユニット一覧

■VariannFLUKE 1720A, 1722A
Wafer Loader Control
Wafer Process Control
C.M.D Power Supply
RF Matchingn Box
RF Matching Control
Fring Module
Low Voltege Power Supply
Ion Gauge Control 845,880
Vacuum System Control
Casstte Motor Control
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