アローズエンジニアリング株式会社

　

奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭで、何処にでも連れて行けます。操作もノートＰＣから全て行えます。高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。
走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は全く必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。スキャンに電磁スキャナー（特許取得済み）を使用することにより、スキャン時にワークを移動させることが有りません。一般にＡＦＭで使用されているピエゾの持つ、非線形クリープ、経年変化は有りません。オプションで、小型の自動ステージとの組み合わせも可能です。

　☆　走査ヘッド　：　　　　　高分解能型　　　　　　　広域走査型
　☆　最大走査レンジ　　　　　１０μｍ　　　　　　　　１１０μｍ
　☆　最大Ｚレンジ　　　　　　１．８μｍ　　　　　　　２２μｍ
　☆　Ｚ方向分解能　　　　　　０．０２７ｎｍ　*1　　　０．３４ｎｍ　*1
　☆　ＸＹ方向分解能　　　　　０．１５ｎｍ　　*1　　　１．７ｎｍ　　*1
　☆　非線形性　　　　　　　　＜０．６％　　　　　　　＜０．６％
　☆　Ｚ　ノイズレベル　　　　０．０４ｎｍ　　　　　　０．３ｎｍ
　※：分解能は１６ビット分割による計算値
　　　オプション装着時は測定レンジが４００μｍ、Ｚレンジ１００μｍプラスされます。
　

　　微細線幅測定　　　　　　　　高精度金型の表面解析
　　マスクパターンの測定　　　　光学部品の評価
　　研磨、ラッピングの評価　　　ハードディスクの磁気フィールドの観察
　　薄膜の段差測定　　　　　　　ＤＶＤピットやスタンパー検査
　　成膜時の連続、不連続判定　　量子ドットの測定
　　　　　　　　　　　　　　　　フィルムの表面検査