アローズエンジニアリング株式会社

　

原子間力顕微鏡（Ａｔｏｍｉｃ　Ｆｏｒｃｅ　Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐ）は、大気中にて、非破壊でナノメートル以下迄の３次元測定が可能な唯一の顕微鏡です。サンプルを傷つけることなく、測定が可能です。電磁スキャナーを使用することにより、非戦形クリープや経年変化を気にせず、長期に渡り安定測定が可能になりました。大型ステージ付きで、ワークを切断することなく、サンプルをセットするだけで非破壊で測定可能です。測定モードも多種用意されており、高価なＡＦＭ装置と同等の機能を有します。測定ワークの材質に関係無く、導体から絶縁体迄、コーティング無しで、ナノレベルの測定が直ぐに可能です。

オプションのＡＦＭスキャナーキットと組み合わせることにより、測定範囲はＸ方向５００μｍ、Ｙ方向５００μｍ、Ｚ方向１２０μｍ迄の広範囲の測定に対応いたします。また、高価な除震機能など必要無く装置の移動も容易に行うことが可能です。プローブの交換はクイックリリースメカニズムにより、初めての方でも数秒で交換可能です。交換後のキャリブレーションは、全自動でカーボンナノチューブプローブでも、調整を全く必要といたしません。測定したい座標を入力またはＭＡＰ表示から指定するだけで自動測定可能です。測定ヘッドは広範囲タイプと高精度タイプの２つを用意して交換も簡単にできます。２方向からの小型カメラを本体に内蔵することにより、上方、側面の観察がリアルタイムで可能です。測定時のオートスケール、サンプル傾鈄補正機能も、標準装備しております。測定１スキャンの測定時間が１秒程度ですので自動化にも容易に対応できます。オプションで、ＡＦＭと顕微鏡、マクロ光学系、厚さ測定機などとの組み合わせやインライン可能です。

　☆　走査ヘッド　　　　　高分解能型　　　　　　　　広域走査型
　☆　最大走査レンジ　　　１０μｍ　　　　　　　　　１１０μｍ
　☆　最大Ｚレンジ　　　　１．８μｍ　　　　　　　　２２μｍ
　☆　Ｚ方向分解能　　　　０．０２６ｎｍ　*1　　　　０．３４ｎｍ　*1
　☆　ＸＹ方向分解能　　　０．１５ｎｍ　　＊１　　　１．７ｎｍ　*1
　☆　非線形性　　　　　　＜０．６％　　　　　　　　＜０．６％
　☆　Ｚ　ノイズレベル　　０．０４ｎｍ　　　　　　　０．３ｎｍ
　※　*1：分解能は１６ビット分割による計算値
　　　　　オプション装着時は測定レンジがプラスされます。

　　微細線幅測定　　　　　　　高精度金型の表面解析
　　マスクパターンの測定　　　光学部品の評価
　　研磨、ラッピングの評価　　ＤＶＤピットやスタンパー検査
　　薄膜の段差測定　　　　　　量子ドットの測定
　　成膜時の連続、不連続判定　フィルムの表面検査
　　ハードディスクの磁気フィールドの観察