本システムはマスタとなる正常な表面を登録し、検査時にその登録画像と比較することにより、画像表面に付着している異物、傷、汚、パター欠陥を検出します。またアライメントパターンの位置を表示し、寸法検査も行います。
検出したパターンや異物等の面積、サイズ（最大径）を測定し、その検査結果データを測定条件と比較し、良品／不良品の判別をします。検査結果データはファイリングし蓄えます。
検査は一画面だけでなく、プローバ（又はＸＹステージ）と連動させることにより、全表面を移動しながらの検査が可能です。検査時の画像の位置ずれを自動的に補正する機能がありますので、マスタ画像と検査画像が多少ずれていても検査可能です。スペック指定機能を使い、画面のエリア別に異物判定条件（スペック）を設定することも可能です。（最大１０スペック）
検査は一画面だけでなく、プローバ（又はＸＹステージ）と連動させることにより、全表面を移動しながらの検査が可能です。検査時の画像の位置ずれを自動的に補正する機能がありますので、マスタ画像と検査画像が多少ずれていても検査可能です。スペック指定機能を使い、画面のエリア別に異物判定条件（スペック）を設定することも可能です。（最大１０スペック）
