アローズエンジニアリング株式会社

　

本システムは顕微鏡に取り付けられたＣＣＤカメラによって取りこまれた画像を解析して、線幅を自動計測するシステムです。画面内に設定した水平または、垂直ウインドウの輝度波形から、線幅を精密測定します。
専用インターフェースでＸＹステージと連動しており、指定位置へ自動的に移動して幅計測を行うことができます。
Ｚ軸のオートフォーカス機能により、厚みの違うワークも柔軟に対応できます。
また、ウェハーのローダー・アンローダーも搭載可能で、ソフト上でウェハーマップのフォームを表示して、ポイント毎に自動計測を行うことも可能です。
さらに位置ずれ補正マークや、計測ウインドウを設定しｔｓ、白黒の輝度変化エッジ間の長さを計測することも出来ます。計測を行いたい画像毎に計測パターンを設定することもできます。
長さを計測したい部分に平行２直線をマウスで合わせるだけで計測することも可能です。
メニューバーとツールバーは、機能種類別にまとめられ、操作性に優れたＧＵＩ環境となっています。