アローズエンジニアリング株式会社

　

透明電極などを顕微鏡検査する照明装置を搭載しています。透明ガラス上に形成された透明膜などのパターンをハイコントラストに直接目視またはカメラ観察できます。

臨界角よりガラス基板の表面の拡散光を均一にした背光効果を発生させ臨界照明で暗視野と比較してエッジが白く光らない為、光量調整された同軸反射照明を入れることにより透明素ガラス部の散乱表面反射を押さえ透過効果により透明膜が無い部分の反射率を上げるハレーション効果を上げています。
それにより背光で透明電極のパターンを黒くするコントラスト性をアップさせることが可能で、弊社ソフトウエアー、ＩＰ−２０（異物検査）ＣＰ−２０（線幅測定）などとの組み合わせにより自動検査装置が容易に構築可能です。
オプションとしてラインレーザー式追従型オートフォーカスを組み合わせて自動検査機を構成できます。