本文へ移動

フィルム異物測定

本装置は透明フィルムの異物の大きさ分布を高速に測定します。
ガラス板とフィルムを移動してフィルム検査範囲を撮像し測定結果が画面に表示され、印刷やファイルに保存等の作業が可能となります

高解像度のラインセンサーカメラと2軸の自動ステージによってフィルム測定範囲を透過撮像し、高速で異物の大きさを測定し、その分布状態を算出します。
また、ご要望により、検査範囲や、測定精度のカスタマイズも可能です。

・異物面積測定    透過楕円の面積
・異物と凝集の判別  指定サイズ以上の結果の平均輝度を評価して一定以上ならば
・          検出対象遺物とし、以下ならば小さな異物の凝集とします。
・測定結果      異物と凝集の総個数、異物の個数、凝集の個数
・検査MAP画面表示
・再測定       ファイリングした画像をロードし、条件を変更して再測定
・画像ファイリング
・結果ファイリング  測定データ

・視野幅     24mm
・画素分解能   約3μ/画素
・検査範囲    100mm×100mm
・検査時間    2分以内
・検査内容    異物起の大きさ(近似楕円面積)、数

アローズエンジニアリング株式会社
〒264-0025
千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
TEL.043-234-5511 代表
FAX.043-233-7268
e-Mail:info@arrows.co.jp


  1. 半導体装置周辺機器の設計、
    制作、改造、修理、販売
  2. 半導体製造装置移設・付帯工事
  3. RF GEN/RF MACHの修理・改善
  4. 搬送ロボットの修理・改善
  5. PCBボードの修理・改善
  6. 中古装置・ユニットの販売
  7. 工業用薬品の販売
  8. 瞬時電圧低下保護装置の販売
  9. 各種検査装置・顕微鏡の販売

4
7
4
3
5
5
TOPへ戻る