概 要
≪概 要≫
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。１枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スループットを実現。25枚収納カセットからウェハを１枚ずつロボットが取り出して自動調芯後に検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。
傷・異物・チップ・クラックなどの欠陥自動検査ができます。
搬送時間を含め１枚30秒の高速検査をします。
新規機能を追加して更に使い易くなった高精度検査機です。
コンパクトで省電力設計です。 AC100V8A
外形寸法 w1200×d900×h1600mm 重量160kg
カセットをセットして運転ボタンを押すだけでウェハを１枚ずつロボットが取り出し検査ステーションに運びます。 画像調芯後、ウェハ外周の端面と上下面３面を同時に撮影して傷・異物・クラック・チップの欠陥検査をしてカセットに戻します。
検査はウェハ裏面吸着式でカメラがノッチ／オリフラを識別して最適に制御します。
特 長・機 能
≪特 徴≫
１．エッジ３面の同時撮影とウエハ全周の撮影と欠陥検査ができます。
２．トリプル光学系により１台のラインカメラで3面検査ができます。
３．インテグレイト照明がエッジ検査に最適な照明を実現しました。
４．オリフラ／ノッチを含めた外観検査ができます。（ノッチ部はベベル面だけの検査です）
５．計測分解能 10μm、検出欠陥サイズ 20μm、良否判定欠陥 50μmと高性能です。
≪機 能≫
≪機 能≫
１．自動調芯機構 ：画像でウエハ中心と検査中心を自動的に合わせます。
２．3面独立設定 ：検査条件のレシピと照明の設定ができます。
３．再検査機能 ：NG判定ウェハの目視再検査ができます。
４．表示変更機能：拡大と反転機能で生画像が見やすくなりました。
５．大きな汚れやマーキングを欠陥と分離できます。
検査箇所
ウェハの端面A、上面B、下面Cを同時に撮像します。トリプル光学系でベベル面は両面から検査できるので境界部にまたがる欠陥の検査ができます。
照明・エッジ検査
エッジ検査用LEDインテグレイト照明２個、チップ検出用ファイバ照明が標準で附属しています。
オプション機能
≪関連取扱製品≫
関連取扱製品
