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RF Generator & MatchingBox Repair Services

※製品を送付される場合、必ず修理依頼書を添付して頂きますよう。
  PDF形式のファイルをご覧いただくには、アドビ システムズ社から無償提供されている    RF Generator 修理依頼書

概  要

☆熟練した技術者が確かな技術と高度な知識で作業に取組んでおります。
弊社では、単なる修理では無く、独自のプログラムによるオーバーホール・ユニットの弱点である改善を行う事で延命化対策等の処置を行っております。
社内修理を行う事で、お客様の修理費の負担軽減及び修理品の納期の短縮を図っております。
尚、機種によってはエクスチェンジ品を多数保有しており、お客様の要望ですぐに対応ができるため装置のダウンタイムを短縮できます。
  ◎RPS Power Monitorは、Power値をリアルタイムで管理すること出来ます。
   詳しくはこちらをどうぞ!

Advanced Energy Pinnacle / MDX Power Supply Unit

Remote plasma Source Repair Services

RF Matching Box Repair Services

弊社では、各メーカーのRF Matching Box Repair Servicesを行っております。
下記のユニットをクリックすると詳細が表示されます。
設 備・検 査 機 器  ( 弊社設備機器の一部 )

設 備・検査機器

設備機器名
メーカー・モデル名
Network
Analyzer
AgilentTechnologies Medel:E5061A 300kHz-1.5GHz
Impedance
Analyzer
MKS V/I Probe VI-PROBE-350-10 1-60HMHz
Power MeterBIAD 4421 IEEE488 / RS-232 Serial Interface(標準搭載) 4 Pes
Power Sensor
BIRD MODEL 4021 1.8-32MHz 0.3-1000W 1 Pc
BIRD MODEL 4024 1.5-32MHz 3W-10kW 2Pcs
BIRD MODEL 4025 100-2500Hz 3W-10kW 1Pc
BIRD MODEL 4027A10M 10-15MHz 3W-10kW 1Pc
Dummy Load
BIAD MODEL 8890-300 50Ω 2500W 1Pc
BIAD MODEL 8890-300-115Blower 50Ω 3000W 1Pc
BIAD MOEDL 8921SC13 50Ω 5kW 1Pc
BIAD MODEL 8730A 50Ω 10kW 2Pc
BIAD MODEL 8745 50Ω 20kW 1Pc 
Programmable
PC Power 
Advantest Model:R6144 Voltege/Current Generator
LCR MeterNF Model:ZM2353 40Hz-200kHz
Frequency
Counter
A&D Model:AD-5184 1.5GHz
Scope codaYOKOGAWA Model:DL750
Digtai
Oscilloscope
Agilent U1604A 40Mhz 200M Sa/s
KENWOOD DCS-7040 2ch 40Mhz
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