アローズエンジニアリング株式会社

　

□Gas Economizerの目的(1)
　Concept One Dielectric装置のDeposition Sequence中でのWafer搬送時は、A2 SiH4
　GasはDeposition時と同じ流量設定にてDivert Lineを通してPump側へ流されています。
　Gas Economizer Unitは、Wafer搬送中にPump側へ流されるA2 SiH4 Gasを止める事により、
　Deposition Sequence時のA2 SiH4 Gasを削減する事を目的として設計されております。
1.Wafer搬送中のA2 SiH4 Gasを止める事により、配管内の生成物の削減が可能と考えられます。
2.Wafer搬送中のA2 SiH4 Gasを止める事により、
　Dry Pumpへの負荷を軽減しメンテナンス周期の改善が可能と考えられます。
3.Wafer搬送中のA2 SiH4 Gasを止める事により、
　除害装置への負荷を軽減しメンテナンス周期の改善が可能と考えられます。
□Gas Economizerの目的(2)
　Concept One Dielectric装置のDeposition Sequence中でのWafer搬送時は、B6 NH3 Gasは
　Deposition時と同じ流量設定にてリアクターチャンバー内へ流されています。
1.Gas Economizer Unitは、
　Wafer搬送中にリアクターチャンバー側へ流されるB6 NH3 Gasの流量を調整する事により、
　Deposition Sequence時のB6 NH3 Gasを削減する事を目的として設計されております。
2.A2,B1,B2,B5,B6 Gas Economizer Unitの目的では、
　A2、B6を例に挙げましたが、全てのGasに対して同じ機能を備えておりますので、
　フレキシブルな対応が出来るように設計されております。

Gas Economizer Unitの設計においては、装置側に対する複雑な改造(Board等の改造)を必要としないように、全ての制御を本Unitへ集約し簡単な接続のみで動作するように考えられております。Gas Economizer Unitの取付け改造時間の短縮が可能なため、改造時の装置Down Timeを最小限に抑える事が可能となります。装置の複雑な改造を必要としないため、Gas Economizer Unitを取付け改造前の装置状態へ戻す事が可能となります。
Gas Economizer Unitには、Economizer Modeを選択出来るようDisable/Enable選択機能を持たせており、使用/未使用の変更が簡単に行う事が可能となっております。装置において問題が発生した場合、Gas Economizer Unitの切り離しが容易に出来るため、トラブル内容の切り分けが簡単に出来るように考えられております。メンテナンス等でGasをManual操作にて抜く場合に、Gas Economizer UnitをDisableにする事により、Divert Lineを使用する事が可能となります。