Particle Protector概要
Particle Protectorは従来問題点を勘案したもので,その目的はChamber内の真空度が特定できるように設置された真空ゲージの内部に流入される空気中の副産物を濾過させる為の集塵フィルタ‐を設置することで,真空ゲージへは清浄空気だけを流入することを目的としている。
また,Particle Protectorは真空ゲージを誤差無く長時間使用できるようにして交換周期を延長することによって,真空ゲージ交換で生じる工程中断時間を最小限にして,製品生産性が低下される問題点を最小化することが期待できる。
また,Particle Protectorは真空ゲージを誤差無く長時間使用できるようにして交換周期を延長することによって,真空ゲージ交換で生じる工程中断時間を最小限にして,製品生産性が低下される問題点を最小化することが期待できる。
Baratron Manometer構造
Baratron Drift原因及びProcess Contaminat
Particle Protector Dimension
* Assembly Description
1. 1/2_VCR Fitting (Male) : Gauge Connection
2. 1/2_VCR Fitting (Female) : Valve Connection
3. Insulator (Silicon)
S社 Pressure Manometer & PPF断面 Power写真
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