修理品を出される場合は、こちらの修理依頼書を添付してください。
SMC SLIT Valve 純正修理認定書
概 要
○SMC社殿との契約により、オリジナルの修理内容とテスト内容に基づき修理させて頂きます。
（修理代行業務となります。）
○SMC社つくば開発センターでの修理トレーニング課程を修了しております。
（修理代行業務となります。）
○SMC社つくば開発センターでの修理トレーニング課程を修了しております。
修理内容
1.本修理は、SMC社と同じ修理内容、ｼﾞｸﾞ及び工具を使用し対応させて頂きます。
2.現在、SLIT VALVEはRev0からﾘﾘｰｽされておりますが、修理の際は、最新のRevのPartsに交換致します。
2.現在、SLIT VALVEはRev0からﾘﾘｰｽされておりますが、修理の際は、最新のRevのPartsに交換致します。
改良されたPartsを使用することにより、SLIT VALVEのLife timeを延ばす効果を期待することが出来ます。
3.修理につきましては、事前御見積書を提出させて頂きます。SLIT VALVE受入時の状態により、工数が異なりますので、
3.修理につきましては、事前御見積書を提出させて頂きます。SLIT VALVE受入時の状態により、工数が異なりますので、
修理完了後に正式な価格の御連絡させて頂きます。
4.SMC社 SLIT VALVEは、Novellus Systems社製 成膜装置“Concept2”の中期より搭載されています。
中期以前に納入された装置は、VAT社製を搭載しているｹｰｽもあります。
200mm装置搭載MODEL 300mm装置搭載MODEL
4.SMC社 SLIT VALVEは、Novellus Systems社製 成膜装置“Concept2”の中期より搭載されています。
中期以前に納入された装置は、VAT社製を搭載しているｹｰｽもあります。
200mm装置搭載MODEL 300mm装置搭載MODEL
修理プラン・修理内容
【標準修理】
交換部品 ：シールキット, ベローズASSYキット, ガスケット《共通》
本体解毒洗浄 ：受入時は、自動的に解毒洗浄費が発生致します。
作業費
【標準修理範囲外】
概 要 ：標準修理 ＋αでPartsの交換が必要な場合、以下のPartsが標準修理に追加されます。
交換部品 ：インサート, ボンネット, ゲート(Oリング), シリンダASSY
オートスイッチ(センサー), カウンター
交換部品 ：シールキット, ベローズASSYキット, ガスケット《共通》
本体解毒洗浄 ：受入時は、自動的に解毒洗浄費が発生致します。
作業費
【標準修理範囲外】
概 要 ：標準修理 ＋αでPartsの交換が必要な場合、以下のPartsが標準修理に追加されます。
交換部品 ：インサート, ボンネット, ゲート(Oリング), シリンダASSY
オートスイッチ(センサー), カウンター
ＳＬＩＴバルブの修理フロー
納期は原則、SLIT VALVE受入後、約3〜4weeksとなります。
納期の例外として、通常交換Parts以外のPartsが必要になりました場合、別途御連絡させて頂きます。
プロセスガス影響下の部品のため、修理及び調査の目的で受入させて頂きましたら、原則として、必ず解毒洗浄をさせて頂きます。
納期の例外として、通常交換Parts以外のPartsが必要になりました場合、別途御連絡させて頂きます。
プロセスガス影響下の部品のため、修理及び調査の目的で受入させて頂きましたら、原則として、必ず解毒洗浄をさせて頂きます。
対 象 機 種 （型 番）
300mm P/N
SMC P/N ： XGT312-47336-2C1-X316
SMC P/N ： XGT312-47336-2C1-X317
SMC P/N ： XGT312-47336-2C1-X318
SMC P/N ： XGT312-47336-2C1-X319
200mm P/N
SMC P/N ： XGT221-32222-1C1-X175
SMC P/N ： XGT221-46236-2C1-X176
SMC P/N ： XGT221-46236-1C1-X177
SMC P/N ： XGT200-30-2A-X177C
200mm用 スリットバルブ標準・特殊品
SMC P/N ： XGT-0101
SMC P/N ： XGT-0402
SMC P/N ： XGT221-32222-1C1-X175
SMC P/N ： XXGT221-46236-2C1-X176