DEIONIZER TANK 再生
□ 半導体装置に使用されるDEIONIZER TANKの再生を開始しいたしました。
DEIONIZER TANK 再生工程
①お客様より預かったDI Tankを受け入れ検査後、問題が無ければパーツの解体Tank内の古Resinを除去しTank内部及び
古Resinの付着したパーツの洗浄、乾燥。
②Tank内の乾燥が確認できたら、解体したパーツを組み上げTankに復旧後ResinCharge治具に接続。
③治具を使用しResinを注入させる。(弊社で選定したResinを約8Kg投入)
④Resin注入終了後、治具から取り外し、Leak Checkへ。
⑤Leak TestはN2を使用し、加圧1分後の値をOutlet Pressure Gauge初期入力(5kg/㎠)と対比し確認。
⑥Leak Test終了後、DI Filter Cleaning及び梱包。
②Tank内の乾燥が確認できたら、解体したパーツを組み上げTankに復旧後ResinCharge治具に接続。
③治具を使用しResinを注入させる。(弊社で選定したResinを約8Kg投入)
④Resin注入終了後、治具から取り外し、Leak Checkへ。
⑤Leak TestはN2を使用し、加圧1分後の値をOutlet Pressure Gauge初期入力(5kg/㎠)と対比し確認。
⑥Leak Test終了後、DI Filter Cleaning及び梱包。