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DEIONIZER TANK 再生

□ 半導体装置に使用されるDEIONIZER TANKの再生を開始しいたしました。

DEIONIZER TANK 再生工程

 ①お客様より預かったDI Tankを受け入れ検査後、問題が無ければパーツの解体Tank内の古Resinを除去しTank内部及び
    古Resinの付着したパーツの洗浄、乾燥。
 ②Tank内の乾燥が確認できたら、解体したパーツを組み上げTankに復旧後ResinCharge治具に接続。
 ③治具を使用しResinを注入させる。(弊社で選定したResinを約8Kg投入)
 ④Resin注入終了後、治具から取り外し、Leak Checkへ。
 ⑤Leak TestはN2を使用し、加圧1分後の値をOutlet Pressure Gauge初期入力(5kg/㎠)と対比し確認。
 ⑥Leak Test終了後、DI Filter Cleaning及び梱包。

DEIONIZER TANK 検査成績書

DEIONIZER TANK 仕様書

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