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Ozone Generator Repair & Overhaul

当社では、独自のプログラムよるユニットのオーバーホルをしており、装置の弱点である部分等を改善し、今まで修理の納期が長期かかっていたものを2week程で完了し納品しております。
MKS AX8200A
MKS AX8403
MKS AX8407
MKS AX8560

Ozone Generator 修理対応機種

Process
MKS Model
WaferSize
Maker
CVD
AX8200A
150mm
AMT
AX8200
200mm
AX8403A
200mm
AX8406
200mm
AX8406A
200mm
AX8407A
300mm
Process
MKS Model
WaferSize
Maker
Diffusion
AX8407
300mm
HiKe
AX8407HC
300mm
HiKe
AX9407SIL
300mm
HiKe
AX8560-5100
300mm
KE
AX8560-3020
300mm
IPS

Ozone Generator AX8407構成図


Ozone Generator AX8407パーツ不具合率

AX8407 主要故障パーツ



パーツの問題点

1. Power Assy Board
  AC Power Input Value Spec 以下
2. Oscillator Board
  AC Power Output Value Spec 以下
3. 7 Cells Stack
 長年使用したCell放電官内部性質変化とCooling Channel
  内部有/無機物Clogging現象による性能低下
4. API Monitor
 UV Rampと Sensorを長年使用したことによる信頼性低下

検査と修理内容

①. Hi-pote test ----------------- :  アイソレーションチェック(電気リークチェック)
②. Water leak check ------------- :  本体、継手部分の水漏れチェック
③. MFC flow rate check ---------- :  MFCの流量チェック
④. MFC display check ------------ :  MFCの流量表示チェック
⑤. Alarm test -------------------  :  インターロックチェック
⑥. Ozone concentration double check : ジェネレータ内部のモニターチェック
⑦. Operation test by software ------ :  RS-232Cの通信チェック
⑧. Line voltage test -------------- : 低圧・高圧ラインの電圧チェック
   
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