Novellus MC1, MC3, IOC Repair Services
弊社では、装置より取外したMC1, MC3, IOCを単体で動作チェックする事が出来ます。
当社独自で、開発した装置とプログラムで通信を行うことでお客様の装置と同じ条件上でユニット単体を動作チェックテストと修理を行う事ができます。
尚、装置メーカーではMC1/MC2サポートを終了しております、是非当社までご相談ください。
当社独自で、開発した装置とプログラムで通信を行うことでお客様の装置と同じ条件上でユニット単体を動作チェックテストと修理を行う事ができます。
尚、装置メーカーではMC1/MC2サポートを終了しております、是非当社までご相談ください。
MC1 / MC3 / IOC 修理
コントローラー構成
(Standard号機)
SystemController 02-113640-00
ModuleController (DLCM) 02-116798-00
SystemController 02-113640-00
ModuleController (DLCM) 02-116798-00
ChesePC 02-028034-00
(Express号機)
SystemController 02-127707-00
ModuleController (DLCM) 02-128745-00
ChesePC 02-136488-00
ModuleController (DCVD) 02-034310-00