３００ｍｍウエハーでワンショット1秒で検査でき、検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。小型視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、BG加工の不均一性や研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。
自動検査のほか、スタンドアロンタイプもライナップしておりマニュアルの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来ニーズ合った検査が可能です。
用途によりソーマーク除去機能も有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。
用途によりソーマーク除去機能も有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。
特殊光学系は、気体や液体（もしくは透明体）の密度差を目に見える形に表す可視化が得意で、通常エンジン燃焼の混合気や燃料の流れ、放電の熱流動、熱伝達、対流、衝撃波などの流れの可視化研究に使われます。この原理を応用してウエハー検査用に特殊光学系を開発いたしました。一般的な撮影と違い、被写体に与える光が「平行光束」というのが重要なポイントです。平面の微細な凸凹を像の濃淡に変換して、自動検査いたします。
☆ ウエハークラック検査
☆ ウエハーエッジダメージ検査
☆ ＢＧ研磨痕の評価
☆ スラリーの評価
☆ ガラス基盤の応力残り
☆ ストレスレリーフの評価
☆ ＢＧテープのテンション検査
☆ 圧力による各種ワークの応力歪み
☆ ウエハーエッジダメージ検査
☆ ＢＧ研磨痕の評価
☆ スラリーの評価
☆ ガラス基盤の応力残り
☆ ストレスレリーフの評価
☆ ＢＧテープのテンション検査
☆ 圧力による各種ワークの応力歪み
